美國(guó)ALICAT 流量控制器  MCW-10SLPM-D

MCW-10SLPM 低壓降氣體質(zhì)量流量控制器

自適應(yīng)氣流控制，對(duì)系統(tǒng)的影響最小

具有低壓降的Alicat“ Whisper”系列質(zhì)量流量控制器非常適用于在可用系統(tǒng)壓力很小的情況下控制質(zhì)量和體積流量。低壓降最大程度地降低了系統(tǒng)影響，可在接近大氣壓的壓力下進(jìn)行流量控制，并縮短了系統(tǒng)響應(yīng)時(shí)間。我們將使用您的應(yīng)用程序參數(shù)來(lái)自定義閥門和PID調(diào)節(jié)，以確保在保持低壓降的同時(shí)提供快速穩(wěn)定的控制。

Alicat的MCW使用小型比例閥以較低的流量進(jìn)行控制，適用于  非腐蝕性氣體。

可用范圍：最大0-1000 slpm，最小0-0.5 sccm / 0-500sμlm

最大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：45 psig（60 psia）

耐壓力：175 psig（190 psia）

精度：±0.8% of reading and ±0.2% of full scale

高精度（可選）：±0.4% of reading and ±0.2% of full scale